Hva er Fysisk Vapor Nedfall?

July 12  by Eliza

Fysisk dampavsetning (PVD) er en prosess som brukes til å skape tynne filmer ved å overføre et mål materiale på et substrat. Overføringen oppnås ved hjelp av rent fysikalske midler i motsetning til kjemisk dampavsetning, som benytter kjemiske reaksjoner til å skape tynne filmer. Halvledere, databrikker, CD-plater (CDer) og digitale videoplater (DVD) er vanligvis laget av denne prosessen.

Det er tre hovedtyper av fysisk damp deponering: fordampning, sprutende, og støping. Fordampningsteknikker begynner ved å lage en mål-materiale i et vakuumkammer, noe som reduserer trykket og øker fordampningshastigheten. Materialet ble så oppvarmet til koking, og de gassformige partikler av målmaterialet kondenserer på overflatene av kammer, omfattende på substratet.

De to viktigste oppvarmingsmetoder for fysisk damp deponering av fordampning er elektronstråle oppvarming og resistiv oppvarming. Under elektronstråle oppvarmet, blir en stråle av elektroner rettes mot et bestemt område på målet materiale, slik at området for å oppvarme og fordampe. Denne metode er bra for styring av bestemte områder av målet som skal fordampes. Under resistiv oppvarming, er målet materiale plasseres i en beholder, vanligvis laget av wolfram, og beholderen oppvarmes med en høy elektrisk strøm. Oppvarmingsmetoden som brukes under fordampning fysisk dampavsetning varierer avhengig av arten av målmaterialet.

Sputtering prosesser også starte med målmaterialet i et vakuumkammer, men målet er brutt opp av gass-plasma ioner snarere enn ved fordampning eller koking. I løpet av prosessen, blir en strøm drives gjennom et gassplasma, forårsaker positive kationer til å danne. Disse kationer bombardere målet materialet og banke vekk små partikler som reiser gjennom kammeret og innskudd på underlaget.

Som fordampning, sputtering teknikker varierer i henhold til målmaterialet. Noen vil bruke likestrøm (DC) strømkilder, mens andre vil bruke radiofrekvens (RF) strømkilder. Noen katodeforstøvningssystemer også anvende magneter for å dirigere bevegelsen av ioner, mens andre vil ha en mekanisme for å rotere målmaterialet.